展会邀请 | 上海汉虹邀您莅临CSEAC 2023中国半导体设备年会
企业新闻2023-08-08
社交媒体 | 
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第十一届（2023年）中国电子专用设备工业协会半导体设备年会暨产业链合作论坛和第十一届（2023年）半导体设备与核心部件展示会(CSEAC)（下简称“CSEAC 2023”），将于8月9日至11日在江苏省无锡太湖国际博览中心举办。
为期3天的CSEAC 2023将以“高水平、专业化、产业化”为办会宗旨，围绕“协力同芯”和“集成创新”两大关键词，展示支撑我国半导体产业发展的“设备”与“核心部件”取得的成就，研讨客观存在的重重困难和问题，探求当前和今后一段时期“破解”“突围”的路径和方案。
上海汉虹邀您参观CSEAC 2023——半导体材料晶体生长、加工系统解决方案供应商
展位号：A3-T231
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港澳六宝大全为Ferrotec集团旗下子公司，2005年成立，是一家以研发、生产和销售智能化精密机械装备为主的公司。汉虹公司始终以提高技术开发能力和高新技术成果转化能力为目标，致力于将公司打造成具有国际竞争力的、专业的半导体材料晶体生长、加工系统解决方案优质供应商。
汉虹的产品涵盖半导体及半导体相关OEM代加工等领域。公司总建筑面积102087㎡，配置先进大型高精加工设备及检测设备。
汉虹专注于半导体材料晶体生长与加工设备的研究与开发，采用先进的生产技术与管理模式，为客户提供成熟先进的电子级单晶炉、多款碳化硅晶体生长炉、数控研磨机、数控抛光机等半导体材料晶体生长及加工设备，并提供半导体相关部件、设备等OEM服务。
本次展会，汉虹将展出新一代半导体材料晶体生长加工系统解决方案，展台号A3-T231，欢迎各位莅临参观。
汉虹半导体单晶炉
单晶炉——在惰性气体环境中，用石墨加热器将硅材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备。
性能优势：
· 设备主体结构优化，提高了整机稳定性。
· 具有拉制12英寸COP FREE半导体单晶硅棒的功能。
· 采用新型隔离阀。
· 液面高度监控系统。
· 高精度传动机构。
· 双层水冷套、可升降双层水冷屏。
4 ~ 6英寸碳化硅长晶炉（感应式）
6 ~ 8英寸碳化硅长晶炉（感应式）
PVT碳化硅长晶炉
PVT采用感应加热方式，在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输（PVT）法生长生长碳化硅晶体采用下进料方式，更加利于实现工厂自动化。
性能优势：
· 下进料方式，利于实现工厂自动化。热场旋转，升降式线圈，用于调整温度场。
· 自主研发异地网络远程监控操作系统，实现长晶过程的全自动控制。
· 分级权限，便于工艺参数管理；远程控制，实现无人值守。
· 温度和压力控制的稳定性；重复定位的准确性；快速抽空及长时间真空保压。布局紧凑合理，整机呈框架式结构，将电控箱、加热电源巧妙集成于一体。
· 电动升降上下料，托盘降至最低位置后可水平移出，电动升降炉盖，省时省力，安全可靠。
· 配置两路真空系统，高精度用于晶体生长的压力控制，普通精度用于抽真空。
LPE碳化硅长晶炉
LPE法最大的优点在于扩径更容易、晶体长晶快、有机会生长出相较其他方法缺陷密度更少的晶体，并且生长温度也相较低，在更接近热力学平衡的条件下，对碳化硅晶型的控制也较好。
性能优势：
· 可根据客户的工艺情况提供半定制化服务。
· 高真空：腔体内壁经镜面抛光，减少气体附着；各表面严密结合，避免产生泄漏；大抽速泵体，实现快速抽空功能；高密封性阀体，实现长时间的真空保压。
· 高精密：高精度数控加工部件；精密传动部件；高品质电控系统；实现运动系统的高精度控制，重复定位无偏差。
· 全自动：自主开发系统，实现全自动过程；兼容各种工艺操作流程；操作权限分级，减少误动作；自主研发异地网络远程监控SiC操作系统⸺安全，可靠，便捷，实现无人值守远程控制。
双面研磨/抛光机
主要用于硅片、石英、陶瓷、玻璃、晶体、石英晶体等泛半导体材料双面高精密研磨与抛光。
性能优势：
· 研磨过程全自动控制。
· 工艺过程平稳运行。
· 采用触摸屏，操作方便。
· 有限元分析设计，受力均匀，结构稳定。
· 自主操作系统，操作简单，易学易懂。
· 自润滑系统，自动给油，长期免维护。
· 丰富选配，适用多种材料加工模式。
单面抛光机
适用于半导体硅片、磷化铟等硬脆材料的高精度单面抛光。
性能优势：
· 龙门加强式框架稳定性高，不易变形。
· 准确控制定盘温度均匀完成去除量。
· 低摩擦气缸加压抛头，轻松控制加工压力。
· 核心部件精密可靠， 加工精度高，设备保留多种升级空间，选配丰富。
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