上海汉虹SEMICON China 2023圆满落幕，期待明年再聚！
企业新闻2023-07-01
社交媒体 | 
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6月29日至7月1日，以“跨界全球·心芯相联”为主题的半导体行业盛会SEMICON CHINA 2023在上海新国际博览中心隆重举办。
此次SEMICON China覆盖芯片设计、制造、封测、设备、材料、光伏、显示等全产业链，致力于为行业提供了解全球产业格局、前沿技术与市场走势的机会，推动研发创新和产业持续发展。
本届展会，港澳六宝大全与Ferrotec（中国）旗下众兄弟公司联袂亮相Semicon China 2023，共同展示Ferrotec旗下众多半导体相关设备、材料、部件及服务，吸引了诸多观众驻足参观。
尽管由于半导体产业受到出口管制，供应链秩序被打破，中国半导体行业的发展受到了诸多不确定因素的影响，但得益于政策支持以及国内半导体企业的持续努力，中国半导体行业在近年来依旧取得了全球瞩目的成果，芯片设计、制造、测试等领域的不断突破，正推动着新能源汽车、通信设备、5G等行业的快速发展，这从本次展会的火爆程度就可见一斑。
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汉虹作为半导体材料晶体生长&加工系统解决方案综合供应商，始终以提高企业技术开发能力和高新技术成果转化能力为目标，致力于为客户提供更具竞争力的产品及服务。
近年来，汉虹研发生产的单晶硅长晶炉、碳化硅长晶炉、双面研磨/双面抛光机等设备也是收获了诸多奖项及好评。
汉虹半导体单晶炉
单晶炉——在惰性气体环境中，用石墨加热器将硅材料熔化，用直拉法生长无位错单晶的设备。
性能优势：
· 设备主体结构优化，提高了整机稳定性。
· 具有拉制12英寸COP FREE半导体单晶硅棒的功能。
· 采用新型隔离阀。
· 液面高度监控系统。
· 高精度传动机构。
· 双层水冷套、可升降双层.png)
4 ~ 6英寸碳化硅长晶炉（感应式）
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6 ~ 8英寸碳化硅长晶炉（感应式）
PVT碳化硅长晶炉
PVT采用感应加热方式，在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输(PVT )法生长生长碳化硅晶体采用下进料方式，更加利于实现工厂自动化。
性能优势：
· 下进料方式，利于实现工厂自动化。热场旋转，升降式线圈，用于调整温度场。
· 自主研发异地网络远程监控操作系统，实现长晶过程的全自动控制。
· 分级权限，便于工艺参数管理；远程控制，实现无人值守。
· 温度和压力控制的稳定性；重复定位的准确性；快速抽空及长时间真空保压。布局紧凑合理，整机呈框架式结构，将电控箱、加热电源巧妙集成于一体。
· 电动升降上下料，托盘降至最低位置后可水平移出，电动升降炉盖，省时省力，安全可靠。
· 配置两路真空系统，高精度用于晶体生长的压力控制，普通精度用于抽真空。
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8英寸碳化硅长晶炉(感应式/电阻式)
LPE碳化硅长晶炉
LPE法最大的优点在于扩径更容易、晶体长晶快、有机会生长出相较其他方法缺陷密度更少的晶体，并且生长温度也相较低，在更接近热力学平衡的条件下，对碳化硅晶型的控制也较好。
性能优势：
· 可根据客户的工艺情况提供半定制化服务。
· 高真空：腔体内壁经镜面抛光，减少气体附着；各表面严密结合，避免产生泄漏；大抽速泵体，实现快速抽空功能；高密封性阀体，实现长时间的真空保压。
· 高精密：高精度数控加工部件；精密传动部件；高品质电控系统；实现运动系统的高精度控制，重复定位无偏差。
· 全自动：自主开发系统，实现全自动过程；兼容各种工艺操作流程；操作权限分级，减少误动作；自主研发异地网络远程监控SiC操作系统⸺安全，可靠，便捷，实现无人值守远程控制。
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双面研磨/抛光机
主要用于硅片、石英、陶瓷、玻璃、晶体、石英晶体等泛半导体材料双面高精密研磨与抛光。
性能优势：
· 研磨过程全自动控制。
· 工艺过程平稳运行。
· 采用触摸屏，操作方便。
· 有限元分析设计，受力均匀，结构稳定。
· 自主操作系统，操作简单，易学易懂。
· 自润滑系统，自动给油，长期免维护。
· 丰富选配，适用多种材料加工模式。
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单面抛光机
适用于半导体硅片、磷化铟等硬脆材料的高精度单面抛光。
性能优势：
· 龙门加强式框架稳定性高，不易变形。
· 准确控制定盘温度均匀完成去除量。
· 低摩擦气缸加压抛头，轻松控制加工压力。
· 核心部件精密可靠， 加工精度高，设备保留多种升级空间，选配丰富。
后续，汉虹将继续精准聚焦客户需求，努力在下届展会为客户带来更多更具竞争力的产品及服务，与众多合作伙伴一起推动中国半导体产业的持续健康发展！
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